? ??該CVD管式爐系統(tǒng)由:?真空管式爐、質(zhì)量流量計、真空泵、真空測試儀四部分構(gòu)成。廣泛用于: 真空燒結(jié)、基片鍍膜、干燥燒結(jié)等熱處理溫度較高的場所。該系統(tǒng)技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠;設(shè)備操作采用全數(shù)控觸摸界面,豐富的圖形界面提示,使得設(shè)備的操作非常簡單、方便;設(shè)備的各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)更是一目了然,設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)盡在您的掌控之中。該系統(tǒng)是材料實(shí)驗(yàn)室必備的理想設(shè)備。
1200型三路氣體配比器CVD管式爐系統(tǒng)
1 | 產(chǎn)品名稱 | 1200型三路氣體配比器CVD管式爐系統(tǒng) |
2 | 常規(guī)型號 | NBD-O1200-O1200-60IT150-D3ZHZ |
3 | NBD-O1200-O1200-80IT150-D3ZHZ | |
4 | 爐膛模式 | 開啟式 |
5 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏(LCD) |
6 | 爐膛材料 | 進(jìn)口纖維 |
7 | 加熱元件 | 進(jìn)口合金加熱絲 |
8 | 極限溫度 | 1200℃ |
9 | 工作溫度 | ≤1150℃ |
10 | 升溫速率 | ≤20℃(建議:10℃/min) |
11 | 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
12 | 溫區(qū)長度 | 440mm |
13 | 恒溫區(qū)長 | 200mm |
14 | 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
15 | 爐管常規(guī)直徑 | 50mm |
16 | 60mm | |
17 | 爐管長度 | 800mm |
18 | 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 |
19 | 氣?密?性 | 真空法蘭和石英爐管的氣密性**可達(dá)4.03×10-3Pa |
20 | 控制模式 | 智能PID多段程序控溫 |
21 | 控溫精度 | ±1℃ |
22 | 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè) |
23 | 預(yù)存曲線 | 可預(yù)存10條溫度曲線 |
24 | 超溫報警 | 有 |
25 | 過流保護(hù) | 有 |
26 | 斷偶提示 | 有 |
27 | 測溫元件 | K型熱電偶 |
28 | 電氣認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
29 | 供電電源 | 220V?50Hz~60Hz |
30 | 整機(jī)功率 | 3KW |
31 | 氣體通道 | 可連接3種氣源 |
32 | 流?量?計 | 質(zhì)子流量計 |
33 | A路量程 | 100SCCM |
34 | B路量程 | 200SCCM |
35 | C路量程 | 500SCCM |
36 | 氣路壓力 | -0.1~0.15?MPa |
37 | 系統(tǒng)真空? | 5~10Pa(需要達(dá)到其它真空度時,需選配不同的抽真空裝置) |
38 | 售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保,終身保修 |
39 | 包裝形式 | 多層膠合板包裝箱 |
40 | 隨機(jī)配件 | 石英爐管、爐管堵塞、O型密封圈、防護(hù)手套、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、厚壁硅膠管、5mm內(nèi)六角扳手。 |
41 | 整套尺寸 | 左右:860mm;前后:480mm;高度:1360mm |