1

產(chǎn)品名稱

1700型三路氣體配比器CVD管式爐系統(tǒng)

2

常規(guī)型號(hào)

NBD-T1700-60IT150-D3ZHZ

3

NBD-T1700-80IT150-D3ZHZ

4

爐膛模式

立體式

5

顯示模式

7英寸觸摸屏(LCD)

6

爐膛材料

進(jìn)口纖維

7

加熱元件

進(jìn)口合金加熱絲

8

極限溫度

1600℃

9

工作溫度

≤1550℃

10

升溫速率

≤20℃(建議:10℃/min)

11

加熱溫區(qū)

單溫區(qū)

12

溫區(qū)長(zhǎng)度

440mm

13

恒溫區(qū)長(zhǎng)

200mm

14

爐管材質(zhì)

高純剛玉

15

爐管常規(guī)直徑

50mm

16

60mm

17

爐管長(zhǎng)度

800mm

18

密封方式

不銹鋼真空法蘭

19

氣?密?性

真空法蘭和石英爐管的氣密性**可達(dá)4.03×10-3Pa

20

控制模式

智能PID多段程序控溫

21

控溫精度

±1℃

22

溫度曲線

30段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)

23

預(yù)存曲線

可預(yù)存10條溫度曲線

24

超溫報(bào)警

有

25

過(guò)流保護(hù)

有

26

斷偶提示

有

27

測(cè)溫元件

B型熱電偶

28

電氣認(rèn)證

CE認(rèn)證

29

供電電源

220V?50Hz～60Hz

30

整機(jī)功率

3KW

31

氣體通道

可連接3種氣源

32

流?量?計(jì)

浮子流量計(jì)

33

A路量程

100SCCM

34

B路量程

200SCCM

35

C路量程

500SCCM

36

氣路壓力

-0.1～0.15?MPa

37

系統(tǒng)真空?

5～10Pa（需要達(dá)到其它真空度時(shí)，需選配不同的抽真空裝置）

38

售后服務(wù)

12個(gè)月質(zhì)保，終身保修

39

包裝形式

多層膠合板包裝箱

40

隨機(jī)配件

石英爐管、爐管堵塞、O型密封圈、防護(hù)手套、坩堝爐鉤、說(shuō)明書(shū)、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、厚壁硅膠管、5mm內(nèi)六角扳手。

41

整套尺寸

左右：860mm；前后：480mm；高度：1360mm