1、?概述

本產(chǎn)品適用于高真空、低真空做截止閥。其型號有：ZK-30-1、ZK-30-2、ZK-50-1、ZK-50-2、

ZK-80-1、ZK-30WA-1、ZK-40WA-1、ZK-50WA-1。其中型號中標(biāo)志有-1?的為高真空閥門；標(biāo)志

有-2?的為超高真空閥門；標(biāo)志有WA?的為帶真空規(guī)管裝置的高真空閥門。本系列產(chǎn)品重復(fù)使用

密封的可靠性高、操作方便，閥門的通導(dǎo)能力能適應(yīng)排氣工藝的要求。

2、結(jié)構(gòu)及原理

本系列產(chǎn)品的外形圖示于后，閥體、閥桿、波紋管、法蘭等結(jié)構(gòu)材質(zhì)均采用不銹1Cr18Ni9Ti制

造。這種不銹鋼不僅有良好的耐酸性和耐腐蝕性能，而且有良好的焊接性能，在高溫和低溫下

材質(zhì)性能穩(wěn)定且沒有磁性，用于制造真空閥門可以保證閥門廣泛的適用性。閥體的焊縫均采用

氬弧焊接。對所有焊縫和整體閥門制造中均采用氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏，漏率小于1X10-9PaM3/S。

本產(chǎn)品的閥頭結(jié)構(gòu)形式有兩種：凡是高真空閥門的閥頭，采用聚四氟乙烯，密封可靠，放氣量

小，使用溫度小于120℃。而超高真空閥門的密封部位采用全金屬密封，閥頭材料為銅質(zhì)(T2或

Tu1)烘烤溫度在300℃以下使用，工作可靠，重復(fù)性好。

帶真空規(guī)管的高真空閥門，規(guī)管為可拆卸式，帶自動密封裝置，在更換規(guī)管時，大氣不會進入

被抽容器，從而保持了原有的真空度。它既可以在被抽容器和真空系統(tǒng)之間作真空閥門使用，

也可以外接真空計測量被抽容器真空度。

本系列產(chǎn)品配有外接法蘭組件和蒙板以備用戶選用。

2.1?使用條件

工作溫度：-50℃～120℃；

相對濕度：≤95%；

大氣壓力：86KPA～106KPA。