層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率****之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:

(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

優(yōu)點:構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。

缺點:建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。

優(yōu)點:管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
亂流式
亂流式
缺點:構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。


復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域****覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。