儀器特點(diǎn)
◆ 超精密全自動(dòng)測(cè)量,四軸CNC控制;
◆ 精密花崗巖機(jī)臺(tái),精度高、穩(wěn)定性好;
◆ 三軸THK精密直線導(dǎo)軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng);
◆ Renishaw開放式光柵尺,精度高、穩(wěn)定性好;
◆ TZTEK自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量;
◆ 程控式6環(huán)8區(qū)環(huán)形表面光源,LED輪廓光源,同軸光源;
◆ 自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高,可加裝接觸式測(cè)頭;
◆ 提供多種行程規(guī)格配置,如222、322、432等。。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào) |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
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行程(mm)* |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
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外型尺寸(mm) |
1040×740×1620 |
1040×740×1620 |
1240×800×1620 |
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重量(kg) |
240 |
250 |
310 |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
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測(cè)量精度 |
XY軸** |
E2=(1.5+L/300)μm |
E2=(1.9+L/300)μm |
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Z軸*** |
E1=(5.0+L/200)μm |