整機采用雙工位（或單工位）層疊、積木式組合結構，每個工位可獨立運行互不干擾。能實現包括旋轉沖洗、氮氣烘干、電阻率監(jiān)控、防靜電控制、腔體干燥、故障顯示報警、系統(tǒng)潔凈處理在內的全自動工藝處理過程。

技術特點：

1.?工作過程中，清洗工作腔與外界密封隔離 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? 2工作腔及片架載體采用耐腐蝕不銹鋼電化學拋光

3.轉軸采用氮氣密封隔離 ???????4.旋轉機構的精密平衡 ? ? ? ? ? 5采用無刷伺服電機驅動

6精密減震及阻尼 ? ? ? ? ? ? ? ? ? 7.管道、閥門、接頭采用聚四氟材料和高純管件 ??????8.去離子水采用電阻率監(jiān)控

9.工作中采用防靜電控制 ??????10.設備在超凈間內進行裝調、減少和控制設備本身的污染

本系列機型可用于半導體硅圓片、砷化鎵材料、掩模版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似相關材料的高潔度沖洗甩干。

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