去磷硅清洗設(shè)備主要功能是對(duì)去磷硅的清洗、干燥在同一臺(tái)設(shè)備上完成。設(shè)備型號(hào):NXXD-0806;整機(jī)尺寸(參考):詳見(jiàn)圖紙;被清洗硅片尺寸:125*125*0.20mm / 156*156*0.20mm;產(chǎn)量 :1600片/小時(shí)(156×156×0.20mm);每批處理量:200片(156×156×0.20mm);節(jié)拍 :450秒;200片盒尺寸:600×395×205mm鋸齒型片盒;處理重量:40kg;一般用在工藝后,硅片保持濕潤(rùn),配上超聲能更好的去處顆粒。HF腐蝕后一般都配置OF而不配置QDR,主要是HF處理后硅片為疏水性,OF能更好的去處污染。進(jìn)水閥門采用bypass形式;
設(shè)備制造:江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司