信息來源：江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

制程應(yīng)用:顯影制程，蝕刻（微蝕刻）制程，去光阻清洗制程

              去蠟（膠）清洗制程，精密清洗制程，光罩去光阻清洗制程

控制模式：手動(dòng)控制模式，自動(dòng)控制模式

                        項(xiàng)目                                                                            數(shù)據(jù)

適用對(duì)象：硅晶片       2-12inch   25Pcs/cassette          1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

                 藍(lán)寶石晶片    2-8inch   25Pcs/cassette        1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

                 砷化鎵晶片    2-6inch   25Pcs/cassette        1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

                 鍺晶片        2-6inch   25Pcs/cassette           1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

                 碳化硅晶片    2-8inch   25Pcs/cassette        1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

                 磷化銦晶片    2-4inch   25Pcs/cassette        1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

                 石英晶片      2-6inch   25Pcs/cassette          1cassette/Batch  Or  2assette/Batch

基本規(guī)格：機(jī)臺(tái)封面           聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）Or  China SUS板材（厚度≧2mm）

                 機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)   整體骨架表面噴涂處理  Or  China SUS矩形材（厚度≧2mm）

                 機(jī)臺(tái)視窗          透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm） Or  China 鋼化玻璃（厚度≧5mm）

選配模塊：1.腐蝕液恒溫系統(tǒng)  2.腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)  3.超（兆）聲系統(tǒng)  4.全自動(dòng)供液系統(tǒng)

                 5.消防系統(tǒng)   6.可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理

機(jī)械臂裝置：Robo的工藝路徑種類   N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）

                    機(jī)械手傳送定位精度    ≦ 0.3mm   

                    機(jī)械手傳動(dòng)預(yù)估速度    垂直升降速度不小于4000mm/min,水平移動(dòng)速度不小于6000mm/min

                    機(jī)械臂走向            前后位移一對(duì)一

                                                  轉(zhuǎn)向、前后、左右、上下位移一對(duì)四

                                                 全程轉(zhuǎn)向左右、前后、上下位移一對(duì)多槽等

設(shè)備制造：江蘇英斯特半導(dǎo)體科技有限公司