信息來源：江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

適用對(duì)象：用來將4、5、6、8、12英寸硅晶片、藍(lán)寶石晶片、砷化鎵晶片、碳化硅晶片化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備

適用對(duì)象：1硅晶片????????2-12inch????25Pcs/cassette????1cassette/Batch??Or??2cassette/Batch?

? ? ? ? ? ? ? ?? 2藍(lán)寶石晶片????2-8inch????25Pcs/cassette????1cassette/Batch??Or??2cassette/Batch??

? ? ? ? ? ? ? ?? 3砷化鎵晶片????2-6inch????25Pcs/cassette????1cassette/Batch??Or??2cassette/Batch?

? ? ? ? ? ? ? ?? 4碳化硅晶片????2-8inch????25Pcs/cassette????1cassette/Batch??Or??2cassette/Batch?

控制模式：手動(dòng)控制模式????自動(dòng)控制模式

設(shè)備用途：用來將4、5、6英寸硅晶片化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備

基本規(guī)格：1機(jī)臺(tái)封面???????????聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）?Or??China??SUS板材（厚度≧2mm）

? ? ? ? ? ? ? ?? 2機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)???整體骨架表面噴涂處理???Or??China??SUS矩形材（厚度≧2mm）

? ? ? ? ? ? ? ?? 3機(jī)臺(tái)視窗???????????透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）Or??China?鋼化玻璃?（厚度≧5mm）

選配模塊：1堿腐蝕液在線加熱系統(tǒng)????2堿腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)????3全自動(dòng)烘干系統(tǒng)????4漏液檢測(cè)系統(tǒng)

? ? ? ? ? ? ? ?? 5水阻率監(jiān)測(cè)系統(tǒng)???6自動(dòng)供給CDS（微補(bǔ))系統(tǒng)???7廢液回收系統(tǒng)???8可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、??資料分析儲(chǔ)存建立管理??9純水節(jié)省功能：純水排放分為回收水管路和廢水排放管輅，通過程序可以設(shè)定回收純水的倒洗開始周期、以及開始回收的任意時(shí)間節(jié)點(diǎn)，待料時(shí)慢速溢流流純水實(shí)現(xiàn)回收使用

排風(fēng)系統(tǒng)：排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到**，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板，為了方便操作人員更據(jù)情況及時(shí)調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺(tái)排風(fēng)背板上的可拆卸式排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺(tái)視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到**使用效果

機(jī)械臂裝置：1Robot的工藝路勁種類???N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）

? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? 2機(jī)械手傳送定位精度????≦?0.3mm??

? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? 3機(jī)械手傳送預(yù)估速度???垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移動(dòng)速度不小于6000mm/min

? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? 4機(jī)械臂走向???????????前后位移一對(duì)一，轉(zhuǎn)向、前后、左右、上下位移一對(duì)四

??????????????????????????????????全程轉(zhuǎn)向左右、前后、上下位移一對(duì)多槽等

制程控制：PLC控制方式

設(shè)備制造：江蘇英斯特半導(dǎo)體科技有限公司