信息來源：江蘇英斯特半導(dǎo)體科技有限公司

項目???????????????????????????????????????????????數(shù)據(jù)

適用對象：石英爐管?????????????????????????≦480mm*L3500mm,1件/Batch

基本規(guī)格：1.機(jī)臺封面????????????????????????聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）

? ? ? ? ? ? ? ?? 2.機(jī)臺主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)????????????????整體骨架表面噴涂處理

? ? ? ? ? ? ? ?? 3.機(jī)臺視窗????????????????????????透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）

選配模塊：1二流體內(nèi)部噴流蝕刻、清洗系統(tǒng)

? ? ? ? ? ? ? ?? 2全自動烘干系統(tǒng)

? ? ? ? ? ? ? ? 3循環(huán)多重過濾系統(tǒng)

機(jī)臺特點：1設(shè)備藥液的添加均通過自動供液系統(tǒng)統(tǒng)一補(bǔ)給

? ? ? ? ? ? ? ?? 2管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機(jī)及絲桿導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，配置模組化，維? 護(hù)保修便利，?非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全存量

? ? ? ? ? ? ? ? 3系統(tǒng)單元高穩(wěn)定、高定位、高可調(diào)性

? ? ? ? ? ? ? ? 4作業(yè)區(qū)內(nèi)酸堿氣體多種安全主動及被動保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全

? ? ? ? ? ? ? ? 5客制化設(shè)計能力佳，高設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要

? ? ? ? ? ? ? ? 6位于設(shè)備外部的化學(xué)品管路管材須用雙套管，雙套管管材采用PFA外包硬透明PVC，設(shè)備內(nèi)部化學(xué)品管路采用PFA?單?層管

機(jī)械臂裝置：Robot的工藝路勁種類??????????N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 機(jī)械手傳送定位精度???????????≦0.3mm

? ? ? ? ? ? ? ? ? ??

機(jī)械手傳動預(yù)估速度???????????垂直升降速度不小于4000mm/min，水平移動速度不小于6000mm/min

制程控制：PLC控制方式

設(shè)備制造：江蘇英斯特半導(dǎo)體科技有限公司