信息來源：江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

項(xiàng)目?????????????????????????????數(shù)據(jù)

適用對(duì)象：藍(lán)寶石晶片?????????2-8inch??25PCS/cassette??1?cassette/Batch?Or?2?cassette/Batch

??????????砷化鎵晶片?????????2-6inch??25PCS/cassette??1?cassette/Batch?Or?2?cassette/Batch

??????????碳化硅晶片?????????2-8inch??25PCS/cassette??1?cassette/Batch?Or?2?cassette/Batch

??????????其它襯底基片

基本規(guī)格：機(jī)臺(tái)封面???????????聚丙烯磁白PP板材（厚度≧10mm）Or??China?SUS板材（厚度≧2mm）

??????????機(jī)臺(tái)主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)???整體骨架表面噴涂處理??Or??China?SUS矩形材（厚度≧2mm）

??????????機(jī)臺(tái)視窗??????????透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC（厚度≧5mm）?Or??China?鋼化玻璃（厚度≧5mm）

選配模塊：1.腐蝕液恒溫系統(tǒng)??2.腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)??3.超（兆）聲系統(tǒng)??4.全自動(dòng)供液系統(tǒng)

??????????5.更全面的全自動(dòng)烘干系統(tǒng)?6.消防系統(tǒng)?7.可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理

機(jī)臺(tái)特點(diǎn)：1.蝕刻工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性

?????????2.QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設(shè)定

?????????3.集成自動(dòng)烘干系統(tǒng)

?????????4.管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機(jī)及絲杠導(dǎo)軌等關(guān)鍵核心部件均采用進(jìn)口標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，配置模組化，維護(hù)保 ? ? ? ? ? 修便利， ?非期貨庫存品工廠內(nèi)??均建立安全存量

?????????5.全自動(dòng)化控制，幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng)，沖擊小，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，機(jī)械臂定位精度高

?????????6.多級(jí)別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲(chǔ)

?????????7.作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動(dòng)及被動(dòng)保護(hù)相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人聲安全

?????????8.客制化設(shè)計(jì)能力佳，高設(shè)計(jì)能力滿足客戶制程工藝需要

? ?機(jī)械臂裝置：Robo的工藝路徑種類???N種（設(shè)備出廠前載入PLC內(nèi)）

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 機(jī)械手傳送定位精度????≦?0.3mm???

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 機(jī)械臂走 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?前后位移一對(duì)一

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 轉(zhuǎn)向、前后、左右、上下位移一對(duì)四

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 全程轉(zhuǎn)向左右、前后、上下位移一對(duì)多槽等