信息來源：江蘇英思特半導(dǎo)體科技有限公司

選配模塊：1.蝕刻液在線降溫系統(tǒng)（0℃以下，±0.5℃）

??????????????????2.蝕刻液循環(huán)過濾系統(tǒng)

??????????????????3.漏液檢測系統(tǒng)

??????????????????4.水阻率監(jiān)測系統(tǒng)

??????????????????5.花籃（哇晶片）旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，轉(zhuǎn)動速度可調(diào)

??????????????????6.自動供給CDS（微補）系統(tǒng)

??????????????????7.廢液回收系統(tǒng)

??????????????????8.可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲存建立管理

??????????????????9.純水節(jié)省功能，純水排放分為回收水管路和廢水排放管路，通過程序可以???設(shè)定回收純水的倒洗開始周 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?期，??以及開始回收的任意時間節(jié)點，待料時慢速溢流流純水實現(xiàn)回收使用