安捷倫 70 L/s 渦輪分子泵 TwisTorr 74 FS 將 TiwsTorr 拖動(dòng)級技術(shù)和安捷倫懸浮軸承技術(shù)相結(jié)合,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。這款 70 L/s 渦輪分子泵借助渦輪增壓技術(shù)與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動(dòng)級技術(shù)之間的協(xié)同作用,可提供高真空性能。懸浮軸承確保低振動(dòng)和低噪音,適用于高靈敏度儀器和工作環(huán)境。 | |||||
這款小型渦輪泵**適用于多種應(yīng)用,包括研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究和電子顯微鏡。 | |||||
TwisTorr 74 FS 可提供一體式控制器或機(jī)架控制器。 | |||||
特性 | |||
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對小分子氣體能提供高壓縮比,而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和最小的系統(tǒng)占用空間。 | |||
高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵,從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。 | |||
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng),低噪音,最佳的軸承工作條件,延長泵的使用壽命,實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化,HEN大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間,并保證長時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。 | |||
獨(dú)有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護(hù)、免油,實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。 |
抽速 | KF40 | CFF 2.75" | ISO 63 | CFF 4.5" |
N2 | 44 L/s | 50 L/s | 60 L/s | 60 L/s |
He | 33 L/s | 40 L/s | 54 L/s | 54 L/s |
H2 | 28 L/s | 31 L/s | 42 L/s | 42 L/s |
Ar | 40 L/s | 51 L/s | 59 L/s | 59 L/s |
最高氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 | 水冷 | ||
(環(huán)境溫度 35 °C) | (水溫 25 °C/環(huán)境溫度 35 °C) | |||
N2 | 130 sccm | 130 sccm | ||
Ar | 80 sccm | 80 sccm | ||
(*) 前級泵 5 m3/h | ||||
壓縮比與前級耐壓 (**) | ||||
N2 | 1.0 × 109 | > 12 mbar | ||
He | 2.0 × 105 | > 10 mbar | ||
H2 | 1.0 × 104 | > 04 mbar | ||
Ar | > 1.0 × 109 | > 14 mbar | ||
(**) 前級耐壓是指渦輪分子泵仍能產(chǎn)生 100 壓縮比的壓力,該壓力在水冷模式下估算得出 | ||||
極限真空(使用推薦的前級泵) | < 5 × 10-10 mbar | |||
< 3.75 × 10-10 Torr) | ||||
抽氣口法蘭 | KF 40、ISO 63、CFF 4.5”、CFF 2.75” | |||
前級管道法蘭 | KF 16 NW | |||
轉(zhuǎn)速 | 70000 rpm(1167 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率) | |||
啟動(dòng)時(shí)間 | < 2 分鐘 | |||
推薦的前級泵 | Agilent DS 40M/DS 102 旋片泵 | |||
Agilent IDP-3/IDP-7 渦旋式干泵 | ||||
操作位置 | 任意位置 | |||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
空氣相對濕度 | 0%–90%(無冷凝) | |||
烘烤溫度 | 在入口法蘭處,ISO 為 80 °C(CFF 為 120 °C) | |||
潤滑油 | 永久性潤滑 | |||
冷卻要求 | ||||
風(fēng)冷 | 加壓空氣冷卻(環(huán)境溫度 5–35 °C) | |||
氣流溫度 +5° C 至 +35 °C | ||||
水冷 | 水溫 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 65 L/h | |||
噪聲聲壓級(全速運(yùn)行時(shí)距離 1 m 處) | 40 dB(A) | |||
儲存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | |||
最高海拔 | 3000 m | |||
重量 kg(磅) | ISO 63 | 2.05 (4.50) | ||
CFF 4.5” | 3.50 (7.70) | |||
CFF 2.75” | 3.34 (7.35) | |||
KF 40 | 2.37 (5.22) |