1）采用典型、普遍的濕式化學(xué)清洗方法，使硅片清洗更徹底 

2)適用于多種規(guī)格尺寸硅片的清洗 

3）在線式甩干，保證清洗的潔凈度 

4）全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配、補(bǔ)液，保證了操作的安全穩(wěn)定性 

5）高速移載機(jī)械手，伺服驅(qū)動(dòng)控制，保證運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠 

6)采用國(guó)際知名電氣元件