1)適用于6-12英寸硅片的去邊處理
2)具有兩套硅片上料線,由機(jī)器人把硅片從上料端搬運(yùn)到尋參定中心位置
3)用真空吸盤吸附硅片的方式來搬運(yùn)硅片
4)在下料區(qū)有獨(dú)立的下料槽,片籃可上下移動(dòng),人工手提片籃下料
5)設(shè)備由PLC控制,各部分均可以獨(dú)立操作
6)采用國際知名電氣元件
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邊緣刻蝕機(jī)
詳細(xì)信息
1)適用于6-12英寸硅片的去邊處理 2)具有兩套硅片上料線,由機(jī)器人把硅片從上料端搬運(yùn)到尋參定中心位置 3)用真空吸盤吸附硅片的方式來搬運(yùn)硅片 4)在下料區(qū)有獨(dú)立的下料槽,片籃可上下移動(dòng),人工手提片籃下料 5)設(shè)備由PLC控制,各部分均可以獨(dú)立操作 6)采用國際知名電氣元件
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