適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗,
同一臺(tái)設(shè)備可編程多套運(yùn)行軟件 根據(jù)工藝需求,
槽體可匹配超聲、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過(guò)濾等功能 全自動(dòng)控制,
可選擇自動(dòng)配補(bǔ)液,保證了操作的安全穩(wěn)定性
高速移載機(jī)械手,伺服驅(qū)動(dòng)控制,保證運(yùn)行平穩(wěn),定位可靠 機(jī)械手直接夾取PFA卡塞,更好的滿足客戶需求
采用國(guó)際知名電氣元件