單極脈沖電源與直流脈沖電源有相同的用途,其輸出為單極脈沖,具有脈沖幅值穩(wěn)壓功能。使用該電源能明顯減少工件打火,通過調(diào)節(jié)脈沖頻率及占空比可改善和控制成膜速度和溫度,增加膜基結(jié)合力,提高沉積速率。
品名 |
偏壓電源 |
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型號(hào) |
BP系列 |
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輸入 |
相數(shù) |
三相+N |
電壓 |
380V |
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頻率 |
50Hz |
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輸入方式 |
4線(含零線) |
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輸出 |
波形 |
脈沖 |
功率 |
10KW~100KW(可定制) |
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電壓 |
0—1200V(可定制) |
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穩(wěn)定度 |
≤1% |
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電流 |
0—100A(可定制) |
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穩(wěn)定度 |
≤1% |
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紋波及雜訊 |
≤2% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
控制方式 |
標(biāo)準(zhǔn)方式:恒壓/高低壓切換 |
可選方式:恒流、恒壓、恒功率可切換 |
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控制接口 |
標(biāo)準(zhǔn)方式:面板手動(dòng) |
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可選方式:面板手動(dòng)、PLC模擬接口、RS485(Modbus) |
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保護(hù) |
具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護(hù)功能 |
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冷卻 |
風(fēng)冷或水冷 |
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外型 |
防護(hù)等級(jí) |
IP21 |
單元尺寸 (W*D*H) |
箱體:440(W)X260(H)X580(D) (20KW風(fēng)冷) 面板:482(W)X280(H) |
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重量 |
30KG(20KW) |
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備注 |
售前售后服務(wù)
我公司鄭重承諾:我公司產(chǎn)品實(shí)行一年免費(fèi)保修,終身提供產(chǎn)品維修服務(wù)。