偏壓電源主要用于多弧離子鍍膜、磁過濾電弧離子鍍膜、直流磁控濺射鍍膜、非平衡磁控濺射鍍膜和孿生靶中頻磁控濺射鍍膜、等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)等。主要作用包括:被鍍工件表面的輝光放電清洗、鍍膜前的離子轟擊、鍍膜時的離子加速等。合理選用偏壓電源可以有效地抑制工件表面打火,明顯提高鍍件的成品率、表面光潔度和膜基結(jié)合力。該電源輸出波形為直流。
品名 |
偏壓電源 |
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型號 |
BD系列 |
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輸入 |
相數(shù) |
三相+N |
電壓 |
380V |
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頻率 |
50Hz |
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輸入方式 |
4線(含零線) |
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輸出 |
波形 |
脈沖 |
功率 |
10KW~100KW(可定制) |
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電壓 |
0—1200V(可定制) |
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穩(wěn)定度 |
≤1% |
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電流 |
0—100A(可定制) |
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穩(wěn)定度 |
≤1% |
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紋波及雜訊 |
≤2% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
控制方式 |
標(biāo)準(zhǔn)方式:恒壓/高低壓切換 |
可選方式:恒流、恒壓、恒功率可切換 |
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控制接口 |
標(biāo)準(zhǔn)方式:面板手動 |
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可選方式:面板手動、PLC模擬接口、RS485(Modbus) |
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保護 |
具備缺相、過熱、限壓、恒功率、過壓、過流、短路、超載等保護功能 |
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冷卻 |
風(fēng)冷或水冷 |
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外型 |
防護等級 |
IP21 |
單元尺寸 (W*D*H) |
箱體:440(W)X260(H)X580(D) (20KW風(fēng)冷) 面板:482(W)X280(H) |
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重量 |
30KG(20KW) |
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備注 |