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HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000 系列上海伯東美國(guó) HVA 不銹鋼真空閘閥 真空插板閥 11000 系列, 手動(dòng),氣動(dòng)可選, 滿足高真空和超高真空應(yīng)用, 清潔和高密封性保證 HVA 真空閘閥 與前級(jí)泵, 渦輪分子泵perfect聯(lián)用.HVA 不銹鋼高真空閘閥 真空插板閥 11000 系列產(chǎn)品特點(diǎn)高真空和超高真空, 閥門主體和內(nèi)部組件采用不繡鋼材質(zhì)閥門口徑 DN 16 - 800 mm, 手動(dòng)或氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)不繡鋼焊接波紋管, 標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制常規(guī) 200°c *高 250 °c堅(jiān)固耐用, 達(dá)到設(shè)定的真空度時(shí), 氣動(dòng)閥門自動(dòng)開閉, 有purge 接口全部美國(guó)設(shè)計(jì), 制造, 組裝, 原裝進(jìn)口HVA 高真空閘閥 超真空插板閥 11000 系列技術(shù)參數(shù)
閥門材質(zhì): | |
- 閥門主體 | 304 不銹鋼 |
- 焊接波紋管軸封 | AM - 350 |
閥門密封方式 | |
- 高真空 | 氟橡膠 |
- 超高真空 | 銅墊圈 / 氟橡膠 |
真空: | |
- 壓力范圍 | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
- 漏率 | < 2x10-9 mbar l/S |
- 差壓關(guān)閉 | 1 bar ( 任意位置 ) |
- 開啟前*大壓力 | ≤ 30 mbar |
烘烤溫度(不含電磁閥): | |
- 佛橡膠密封 | 150 °c, 可選配置*大 250 °c |
- 銅墊圈密封 | 閥門關(guān)閉 200 °c, 閥門打開 150 °c |
- 驅(qū)動(dòng)方式 | 手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c |
- 氣體 | 80 psig (5.5 bar) |
- 電磁 | 4.0 Watts |
- 供電 | 120 VAC 50 /60 Hz |
- 可選電壓 | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
- 位置指示器,*大 | 115 VAC |
使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定) | |
接口: DN 16 - 800 mm |
美國(guó) HVA 11000 系列高真空閘閥有正面鎖定的中心裝置或一個(gè)軟封的氣動(dòng)閘(可選擇的) , 閥門保持關(guān)閉狀態(tài)以防空氣壓力損失, 11000 系列真空閘閥獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)保證*低的沖擊和振動(dòng), 因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動(dòng)的敏感加工工業(yè). HVA不銹鋼真空閘閥提供了業(yè)界*小的內(nèi)部接口. 閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr 的真空爐中一體釬焊完成, 確保了閥門的*大完整性,效消除了虛漏和缺陷部分, 閥體變形. 閥門手動(dòng), 三種驅(qū)動(dòng)方式可選, 或定制法蘭滿足不同應(yīng)用. 美國(guó) HVA 真空閘閥 11000 系列可任意位置安裝.HVA 真空閘閥 真空插板閥應(yīng)用案例一上海伯東客戶某大學(xué)自主搭建分子束外延與掃描隧道顯微鏡系統(tǒng), 采用美國(guó) HVA 真空閘閥 11000 系列并搭配 Pfeiffer 分子泵 Hipace 300 和渦輪分子泵 Hipace 80 成功分析生長(zhǎng)晶體表面結(jié)構(gòu).HVA 真空閘閥 真空插板閥應(yīng)用案例二美國(guó) HVA 真空插板閥在半導(dǎo)體管道中的應(yīng)用 半導(dǎo)體管道插板閥應(yīng)用示意圖 現(xiàn)場(chǎng)圖
HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列組成:
美國(guó) HVA 真空閥門-美國(guó)*大真空閥門制造商. 美國(guó) HVA 原裝進(jìn)口真空閥門, 超過(guò)50年的高真空和超高真空閥門設(shè)計(jì)與制造. 主營(yíng)高真空閘閥, 超高真空插板閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體, 鍍膜, 激光, 科研, 工業(yè)等領(lǐng)域. 上海伯東是美國(guó) HVA 真空閥門在China地區(qū)only總代理商。
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