中美兩家芯片生產(chǎn)企業(yè)中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（下稱(chēng)中微半導(dǎo)體公司）和維易科精密儀器**貿(mào)易（上海）有限公司（下稱(chēng)上海維易科公司）在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中互相發(fā)起知識(shí)產(chǎn)權(quán)攻防戰(zhàn)：先是上海維易科公司的母公司美國(guó)維易科精密儀器公司（下稱(chēng)美國(guó)維易科公司）于2017年4月在美國(guó)紐約東區(qū)地方法院提起針對(duì)中微半導(dǎo)體公司晶圓承載器供應(yīng)商西格里碳素公司（下稱(chēng)SGL公司）的專(zhuān)利侵權(quán)訴訟，請(qǐng)求法院發(fā)布禁令，禁止SGL公司向中微半導(dǎo)體公司出售采用了美國(guó)維易科公司金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）專(zhuān)利技術(shù)生產(chǎn)的晶圓承載器，包括專(zhuān)為中微半導(dǎo)體公司 MOCVD 設(shè)備設(shè)計(jì)的晶圓承載器，并得到法院支持；隨后，中微半導(dǎo)體公司于2017年7月在中國(guó)向福建省**人民法院（下稱(chēng)福建高院）起訴上海維易科公司侵犯其“化學(xué)氣相沉積裝置”（專(zhuān)利號(hào)：ZL201220056049.5）實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)，索賠上億元。然而，在**知識(shí)產(chǎn)權(quán)局原專(zhuān)利復(fù)審委員會(huì)（下稱(chēng)原專(zhuān)利復(fù)審委員會(huì)）作出維持中微半導(dǎo)體公司涉案專(zhuān)利權(quán)有效的審查決定后不久，這場(chǎng)備受關(guān)注的芯片企業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)大戰(zhàn)發(fā)生了戲劇性的變化，美國(guó)維易科公司、中微半導(dǎo)體公司、SGL公司共同于2018年2月9日宣布達(dá)成全球和解，終止三方之間的所有法律行動(dòng)。

　　中美芯片企業(yè)對(duì)壘

　　芯片作為網(wǎng)絡(luò)時(shí)代的基石，在信息化社會(huì)的發(fā)展中具有無(wú)可比擬的重要性，正是因此，發(fā)生在中美兩家芯片企業(yè)之間的知識(shí)產(chǎn)權(quán)大戰(zhàn)受到了極大關(guān)注。

　　據(jù)了解，芯片生產(chǎn)過(guò)程異常復(fù)雜，對(duì)于設(shè)備的要求極高，**上**主要的芯片設(shè)備技術(shù)掌握在美國(guó)、日本企業(yè)手中。按照不同工序，芯片生產(chǎn)設(shè)備分為光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、鍍膜設(shè)備、量測(cè)設(shè)備等，其中鍍膜設(shè)備按照生產(chǎn)工藝的不同，又分為物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等多種。MOCVD設(shè)備屬于化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備，這種設(shè)備用于在晶圓表面鍍上金屬、氧化物、氮化物等各種不同的薄膜，從而形成局部晶體管結(jié)構(gòu)。常見(jiàn)的如LED燈芯片大多采用MOCVD設(shè)備生產(chǎn)。MOCVD設(shè)備近年來(lái)得到較快發(fā)展，目前已經(jīng)占全部芯片設(shè)備市場(chǎng)的20%左右。

　　在MOCVD設(shè)備領(lǐng)域，美國(guó)維易科公司具有*的技術(shù)水平，掌握大量核心技術(shù)，占據(jù)了該設(shè)備生產(chǎn)和銷(xiāo)售的重要地位。中微半導(dǎo)體公司則是中國(guó)芯片設(shè)備生產(chǎn)商的后起之秀，由于致力于技術(shù)研發(fā)，已經(jīng)成為國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備廠商中的領(lǐng)軍者，近年來(lái)提交了1200多件專(zhuān)利申請(qǐng)，其中涉及MOCVD設(shè)備的專(zhuān)利超過(guò)100件。

　　目前，中微半導(dǎo)體公司與美國(guó)維易科公司已成為全球**主要的兩家MOCVD設(shè)備生產(chǎn)商。

　　2017年4月，美國(guó)維易科公司率先在紐約東區(qū)地方法院提起專(zhuān)利侵權(quán)訴訟，指控SGL公司向中微半導(dǎo)體公司銷(xiāo)售的晶圓承載器侵犯其專(zhuān)利權(quán)。美國(guó)維易科公司不但提出了高額賠償要求，還請(qǐng)求法院發(fā)布臨時(shí)禁令，禁止SGL公司繼續(xù)向中微半導(dǎo)體公司出售晶圓承載器。晶圓承載器是MOCVD設(shè)備的核心組件之一。

　　美國(guó)維易科公司的訴訟請(qǐng)求如果獲得法院支持，不但會(huì)對(duì)中微半導(dǎo)體公司構(gòu)成嚴(yán)重影響，還會(huì)對(duì)國(guó)內(nèi)眾多下游LED企業(yè)造成嚴(yán)重影響。

　　在此背景下，中微半導(dǎo)體公司采取了反擊措施。2017年7月，中微半導(dǎo)體公司向福建高院起訴上海維易科公司侵犯其“化學(xué)氣相沉積裝置”（專(zhuān)利號(hào)：ZL201220056049.5）實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)，索賠上億元。同樣，中微半導(dǎo)體公司請(qǐng)求福建高院發(fā)布禁令，禁止上海維易科公司進(jìn)口、制造、向任何第三方銷(xiāo)售或許諾銷(xiāo)售侵犯中微半導(dǎo)體公司專(zhuān)利的晶圓承載器產(chǎn)品。

　　上海維易科公司旋即向原專(zhuān)利復(fù)審委員會(huì)提起針對(duì)“化學(xué)氣相沉積裝置”（專(zhuān)利號(hào)：ZL201220056049.5）的專(zhuān)利權(quán)無(wú)效宣告請(qǐng)求。

　　無(wú)效決定促成和解

　　“化學(xué)氣相沉積裝置”（專(zhuān)利號(hào)：ZL201220056049.5）的專(zhuān)利權(quán)是否有效成了中微公司反擊能否成功的決定性因素，因而受到極高關(guān)注。

　　該專(zhuān)利涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置，其中托盤(pán)受到旋轉(zhuǎn)軸頂部支撐，并通過(guò)二者之間的摩擦力使得托盤(pán)圍繞旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)；同時(shí)還包括一個(gè)同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)，用于防止旋轉(zhuǎn)軸和托盤(pán)發(fā)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

　　在現(xiàn)有技術(shù)中，二者的連接方式是通過(guò)螺釘固定連接，使托盤(pán)**安裝在轉(zhuǎn)軸上。這種方式能夠保證托盤(pán)和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)完全同步，并且使使用過(guò)程中的振動(dòng)減到**小，但是它也存在一些缺陷，比如，對(duì)安裝精度要求極高，稍有偏差就會(huì)導(dǎo)致托盤(pán)無(wú)法保持水平，而且難以拆卸，維護(hù)和更換程序復(fù)雜，成本較高。

　　采用涉案專(zhuān)利技術(shù)則既能實(shí)現(xiàn)自平衡，又能防止轉(zhuǎn)軸和托盤(pán)之間發(fā)生相對(duì)位移，以保證對(duì)托盤(pán)上基片的**定位。

　　上海維易科公司作為請(qǐng)求人認(rèn)為，該專(zhuān)利不具備新穎性或創(chuàng)造性。

　　但合議組經(jīng)審理認(rèn)為，上海維易科公司提供的證據(jù)雖然分別具有摩擦傳動(dòng)和接觸傳動(dòng)的方案，但并未給出兩者結(jié)合的啟示，且對(duì)于兩種傳動(dòng)共同使用均給出了相反的技術(shù)教導(dǎo)。因此，上海維易科公司主張涉案專(zhuān)利不具備新穎性和創(chuàng)造性的理由不能成立。

　　**終，合議組于2017年11月底作出審查決定，在專(zhuān)利權(quán)人修改后的權(quán)利要求書(shū)的基礎(chǔ)上維持專(zhuān)利權(quán)有效。

　　該案合議組在接受本報(bào)記者采訪時(shí)表示，該案詮釋了發(fā)明構(gòu)思的分析在技術(shù)特征比對(duì)和技術(shù)啟示判斷中的重要作用。合議組認(rèn)為，發(fā)明構(gòu)思體現(xiàn)了發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)本質(zhì)。此案中，從發(fā)明構(gòu)思的角度來(lái)分析，確定同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)和獨(dú)立保持裝置這兩個(gè)相似的構(gòu)件各自所解決的技術(shù)問(wèn)題，更容易準(zhǔn)確比對(duì)出二者是否相同。

　　該專(zhuān)利權(quán)被宣告維持有效后，福建高院于2017年12月初作出裁定，同意了中微公司針對(duì)上海維易科公司提出的禁令申請(qǐng)，禁止上海維易科公司進(jìn)口、制造、向任何第三方銷(xiāo)售或許諾銷(xiāo)售侵犯中微半導(dǎo)體公司專(zhuān)利的晶圓承載器產(chǎn)品。

　　中國(guó)海關(guān)在福建高院禁令的基礎(chǔ)上，扣押了上海維易科公司進(jìn)口到國(guó)內(nèi)的涉嫌侵權(quán)產(chǎn)品。

　　就在業(yè)界都以為雙方糾紛愈演愈烈、逐步升級(jí)之際，2018年2月初，美國(guó)維易科公司、中微半導(dǎo)體公司、SGL公司共同宣布達(dá)成全球和解，同意就三方之間的未決訴訟達(dá)成全球性和解，并友好地解決所有的未決紛爭(zhēng)，包括中微半導(dǎo)體公司在福建高院針對(duì)上海維易科公司的訴訟和美國(guó)維易科公司在美國(guó)紐約東區(qū)地方法院針對(duì)SGL公司的訴訟。作為和解內(nèi)容的一部分，美國(guó)維易科公司、中微半導(dǎo)體公司和SGL公司及它們的附屬公司之間在全球范圍內(nèi)所有的法律行動(dòng)（在法院的、在專(zhuān)利局的及其他的）將會(huì)被撤訴或以其他方式撤回。

　　在業(yè)內(nèi)人士看來(lái)，原專(zhuān)利復(fù)審委員會(huì)作出的維持專(zhuān)利權(quán)有效的決定無(wú)疑是推動(dòng)雙方和解的重要因素之一，類(lèi)似案例凸顯專(zhuān)利作為有效的強(qiáng)力武器在企業(yè)角力中的重要作用，同時(shí)也提醒國(guó)內(nèi)企業(yè)，在激烈的**市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中，應(yīng)當(dāng)充分重視提高自身的知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)造、運(yùn)用和保護(hù)能力。

　　決定亮點(diǎn)

　　作為**接近的現(xiàn)有技術(shù)，證據(jù)1中通過(guò)摩擦配合使得晶片托架隨主軸旋轉(zhuǎn)，跟設(shè)置獨(dú)立保持裝置屬于兩個(gè)并列的技術(shù)方案，且證據(jù)1的發(fā)明目的在于避免CVD反應(yīng)器中**性安裝的基座存在的明顯增大晶片支撐組件總體的熱惰性和機(jī)械慣量的缺陷，因此證據(jù)1優(yōu)選僅通過(guò)摩擦力使得晶片托架保持在主軸上，沒(méi)有任何保持裝置，由此能使托架-主軸組件的機(jī)械慣量減到**小，并能夠降低主軸上的應(yīng)力。如果主軸必須突然停止，且施加在晶片托架上的慣性力超過(guò)它與主軸頂端之間的摩擦力，晶片托架就可能獨(dú)立于主軸旋轉(zhuǎn)，從而減小主軸上的應(yīng)力。因此，證據(jù)1并不需要避免晶片托架和主軸之間的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，反而可通過(guò)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)減少主軸的應(yīng)力。而且，在證據(jù)1中設(shè)置摩擦配合或者獨(dú)立保持裝置，其目的均是將晶片托架保持在主軸上，通過(guò)摩擦配合或獨(dú)立保持裝置均足以單獨(dú)實(shí)現(xiàn)上述目的，因此沒(méi)有必要將兩種方案同時(shí)使用。

　　證據(jù)6中通過(guò)采用接觸傳動(dòng)，避免了摩擦傳動(dòng)引起的部件磨損，減少了生產(chǎn)成本。因此，證據(jù)6對(duì)于接觸傳動(dòng)和摩擦傳動(dòng)的共同使用也給出了相反的技術(shù)指導(dǎo)。而證據(jù)2和4中均未公開(kāi)采用摩擦力驅(qū)動(dòng)二者同步轉(zhuǎn)動(dòng)的技術(shù)特征。

　　此外，證據(jù)1中的獨(dú)立保持裝置、證據(jù)2中的驅(qū)動(dòng)齒輪、證據(jù)4中的支持端以及證據(jù)6中的定位鍵和定位槽與本專(zhuān)利中的同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)在功能上存在差異，上述證據(jù)中各裝置的作用均是通過(guò)接觸作用力保持主軸和托盤(pán)同步運(yùn)動(dòng)，接觸作用力在托盤(pán)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中必須時(shí)刻發(fā)揮作用，托盤(pán)和主軸之間不再需要摩擦力作用，因此這些裝置均為接觸傳動(dòng)裝置。而本專(zhuān)利的同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)其目的僅在于確保主軸和托盤(pán)不發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，在托盤(pán)隨主軸的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，主要由摩擦傳動(dòng)發(fā)揮作用，因此本專(zhuān)利的同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)并不屬于接觸傳動(dòng)裝置。據(jù)此，上述證據(jù)無(wú)法給出將摩擦傳動(dòng)與同步運(yùn)動(dòng)配合結(jié)構(gòu)相結(jié)合的技術(shù)啟示。（本報(bào)記者  祝文明）

　　（編輯：蔣朔）