等離子去膠機(jī)采用高密度微波等離子技術(shù)，微波等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗方式, 可以有效去除表面污染物,避免靜電損傷，微波等離子清洗機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中晶圓的清潔和等離子體預(yù)處理，微波等離子高度活性、高效，且不會(huì)對(duì)電子裝置產(chǎn)生離子損害。

微波等離子清洗去膠設(shè)備是下列用途的理想方式：

等離子體表面改性

有機(jī)物表面等離子體去膠

邦定強(qiáng)度增強(qiáng)

等離子體清洗機(jī)刻蝕應(yīng)用等離子體灰化應(yīng)用

增強(qiáng)或減弱浸潤(rùn)性

微波等離子清洗設(shè)備適用于半導(dǎo)體和復(fù)合材料工業(yè)的表面活化，清化和鍍膜工藝