1.大氣壓等離子清洗機的分類 
1.1 Corona 電暈等離子 
通常選用空氣或許氮氣（N2)作為發(fā)作氣體。特色是氣體的需求量十分高，運用氮氣時一般需求配備專門的大功率氮氣發(fā)作器，工業(yè)上常用RF射頻作為激起動力，頻率在40KHZ左右。等離子作業(yè)形狀以炬式較為多見，條狀放電形式使得外表處理后均勻性不高。設(shè)備作業(yè)進程中會發(fā)作超支的臭氧與氮氧化物等對人體有害的氣體，必需求配套氣體吸出體系一起作業(yè)。由于上述特性，Corona 等離子首要適用于對處理效果請求不高，而且后續(xù)運轉(zhuǎn)本錢低的職業(yè)（可運用空氣），比方紡織業(yè)等。 
1.2 Glow 輝光等離子 
首要分為兩種方法，即腔式與大氣壓式，此兩種等離子技能均為直接式等離子清洗機。 
腔式Glow等離子清洗機的特色是需求一個關(guān)閉的腔體，電極內(nèi)置于真空腔體中，作業(yè)時首先用真空泵將腔體內(nèi)空氣吸出構(gòu)成類真空環(huán)境，然后等離子在全部腔體中構(gòu)成并直接對在內(nèi)的資料進行外表處理。此種腔式等離子的處理效果要優(yōu)于corona 等離子。后續(xù)運轉(zhuǎn)本錢較高，首要原因是其真空泵接連作業(yè)的功耗較大。另外每次作業(yè)時真空環(huán)境制造進程需求的時刻較多，對選用自動化生產(chǎn)線及請求處理功率的工業(yè)范疇來說，局限性較顯著。 
另一種大氣壓輝光式等離子技能（APPLASMA）,即我司供給之設(shè)備,是以RF射頻作為激起動力，作業(yè)頻率是13.56MHZ。選用氬氣(Ar)作為發(fā)作氣體，氧氣或許氮氣作為反響氣體。該等離子清洗機的特色是： 
1. 均勻度高。大氣壓等離子是輝光式的等離子幕，直接效果于資料外表，試驗證實，同一資料不一樣方位的處理均勻性很高，這一特性對于工業(yè)范疇進行下一環(huán)節(jié)的邦定、涂膜、印刷等制程十分重要。 
2. 效果可控。大氣壓等離子清洗機有三種效果形式可選。一是選用 氬氣/氧氣組合，首要面向非金屬資料而且請求較高的處理效果時選用。二是選用 氬氣/氮氣 組合，首要面向待處理商品有不能被處理的金屬區(qū)域，因氧氣的強氧化效果，替換為此計劃中的氮氣后，該疑問能夠加以操控。三是只選用氬氣的狀況，只選用氬氣也能夠?qū)崿F(xiàn)外表改性，可是效果相對較低。此種狀況較特別，是少量工業(yè)客戶需求有極限的一起均勻的外表改性時選用的計劃。 
3. 安全易用。大氣壓式等離子清洗機，也是低溫等離子，不會對資料外表形成危害。無電弧，無需真空腔體，也無需有害氣體吸出體系，長時刻運用并不會對操作人員形成身體危害。 
4. 面積寬大。大氣壓等離子大能夠處理2m寬的資料，能夠滿意現(xiàn)有大都工業(yè)資料的外表處理需求。 
5. 本錢低廉。大氣壓等離子設(shè)備功耗低，運轉(zhuǎn)本錢以氣體為主。以首要消耗氣體氬氣為例，同corona等離子氣體消耗量比較缺乏其1/20.