等離子清洗機(jī)主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看，等離子體清洗機(jī)通常包括以下過程：無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應(yīng)殘余物脫離表面。

電子行業(yè)的手機(jī)殼印刷、涂覆、點(diǎn)膠等前處理，手機(jī)屏幕的表面處理：玻璃基板清洗處理，有機(jī)污染物清洗，國防工業(yè)的航天連接器表面清潔清洗，通用行業(yè)的絲網(wǎng)印刷、轉(zhuǎn)移印刷前面處理等

等離子清洗機(jī)對半導(dǎo)體/LED的解決方案，等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用是基于集成電路的各種元器件及連接線很精細(xì)，那么在制程過程中就容易出現(xiàn)灰塵，或者有機(jī)物等污染，極其容易造成晶片的損壞，使其短路，為了要排除這些制程過程中產(chǎn)生的問題，在后來的制程過程中導(dǎo)入了等離子表面處理機(jī)進(jìn)行前處理，利用等離子表面處理機(jī)是為了更好的保護(hù)了產(chǎn)品，在不破壞晶圓表面的性能的情況下，采用等離子清洗機(jī)設(shè)備進(jìn)行去除表面有機(jī)物和雜質(zhì)等。