未處理的表面等離子體處理表面是疏水的,經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)處理后,材料變得很親水:
左邊筆舌為真空等離子處理后,右邊筆舌是沒(méi)有經(jīng)過(guò)等離子處理的狀態(tài)。你可以看到左邊經(jīng)過(guò)等離子處理的筆舌已經(jīng)具有親水性,可以很好的吸附住水分;右邊沒(méi)有經(jīng)過(guò)真空等離子清洗的筆舌,水分很快滴落,不具有親水性
1. 在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中,晶圓表面會(huì)涂上光刻膠,然后光刻,顯影。但光刻膠只是圓形轉(zhuǎn)化的媒介,當(dāng)光刻機(jī)在光刻膠上形成納米圖形后,需要進(jìn)行下一步的生長(zhǎng)或刻蝕的工藝,之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機(jī)可以實(shí)現(xiàn)此功能。它用射頻或微波方式產(chǎn)生等離子體,同時(shí)通入氧氣或其他氣體,等離子體與光刻膠進(jìn)行反應(yīng),形成氣體被真空泵抽走。
2. 在微電子封裝的生產(chǎn)過(guò)程中,由于指印、助焊劑、各種交叉污染和自然氧化等,器件和材料表面會(huì)形成各種沾污,包括有機(jī)物、環(huán)氧樹(shù)脂、焊料、金屬鹽等。這些沾污會(huì)明顯的影響封裝生產(chǎn)過(guò)程中相關(guān)工藝質(zhì)量。使用等離子體清洗可以很容易的清除掉生產(chǎn)過(guò)程中形成的這些分子水平的污染,保證工件表面原子與即將附著材料原子之間精密接觸,從而有效的提高引線鍵合強(qiáng)度,改善芯片粘接質(zhì)量,減少封裝漏氣率,提高元器件的性能、成品率和可靠性。
3. LED點(diǎn)銀膠前:基板上的污染物會(huì)導(dǎo)致銀膠呈圓球狀,不利于芯片粘貼,而且容易造成芯片手工刺片時(shí)損傷,等離子清洗可以使工作表面粗糙度及親水性大大提高,有利于銀膠平鋪及芯片粘貼,同時(shí)可以大大節(jié)省銀膠的使用量,降低成本。 引線鍵合前:提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性。鍵合刀頭壓力可以較低(有污染物時(shí),鍵合頭要穿透污染物,需要加大的力),有些情況下,鍵合的溫度也可以降低,因而提高產(chǎn)量,降低成本。 4. LED封裝前:在LED注環(huán)氧膠過(guò)程中,污染物會(huì)導(dǎo)致氣泡的成泡偏高,從而導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量及使用壽命低下,通過(guò)等離子清洗后,芯片與基板會(huì)更加精密的和膠體相結(jié)合,氣泡的形成將大大減少,顯著提高散熱率及光的出射率。
芯片與基板會(huì)更加精密的和膠體相結(jié)合,氣泡的形成將大大減少,顯著提高散熱率及光的出射率。
5. 培養(yǎng)皿/酶標(biāo)板:改善細(xì)胞和生物材料對(duì)臨床診斷平臺(tái)的粘附性免疫診斷、細(xì)胞培養(yǎng)基及其他臨床診斷大多數(shù)平臺(tái)是由合成聚合物材料制成。這些材料具有很好的惰性、機(jī)械穩(wěn)定性、同時(shí)制造成本也非常低廉,但同時(shí)它們的表面性能也有固有的局限性。尤其是它們不能提供足夠的結(jié)合點(diǎn)來(lái)使細(xì)胞和具有生物活性的分子有效的結(jié)合在它們的表面。有力的、均勻分布的結(jié)合點(diǎn)對(duì)固定生物材料和體外細(xì)胞培養(yǎng)來(lái)說(shuō)是至關(guān)重要的。為了進(jìn)行細(xì)胞繁殖和生物分子吸附,必須對(duì)合成聚合物平臺(tái)的表面進(jìn)行改性來(lái)改善它們的性能。使用低溫等離子技術(shù)來(lái)解決生物材料對(duì)培養(yǎng)基的粘合性問(wèn)題非??煽亢铜h(huán)保。
6. 微流體器件:微流體裝置需要親水性的表面以便于分析物可以持續(xù)平緩的流經(jīng)微通道到達(dá)這些器械上的探測(cè)和處理位置。這種流動(dòng)可通過(guò)各種抽吸、電滲透、熱量、機(jī)械等方法來(lái)實(shí)現(xiàn)。微射流器件由疏水性的聚合材料(丙烯酸、聚苯乙烯、聚二甲基硅氧烷(PDMS))制成。由這些材料的疏水性導(dǎo)致的一個(gè)主要問(wèn)題就是在微通道中擁擠的氣泡抑制了液體的流動(dòng)。用等離子體處理可以氧化微通道的表面,使它們變成親水性,從而防止氣泡的形成。電動(dòng)抽吸時(shí)的表面電荷密度同樣會(huì)影響流動(dòng)速率。等離子體可以有效的促進(jìn)荷電表面的電滲透流動(dòng),這是用等離子處理微流體器件的又一個(gè)好處。
7. 攝像頭模組:在COMS攝像頭的生產(chǎn)過(guò)程中,涉及到鏡片清洗,電路焊接,封裝等工序。這些工序中產(chǎn)品表面如果存在有機(jī)污染物或者氧化層,會(huì)對(duì)產(chǎn)品的性能和可靠性產(chǎn)生影響,在這些工序中加入等離子體清洗工藝,可去除產(chǎn)品表面的污染物,提高焊接和封裝強(qiáng)度,從而得到更可靠的產(chǎn)品。
8. 揚(yáng)聲器和耳機(jī):手機(jī)的音質(zhì)直接影響其品質(zhì)和檔次,所以高端手機(jī)的揚(yáng)聲器對(duì)質(zhì)量的要求非常高,揚(yáng)聲器中的細(xì)小零件是關(guān)鍵,相關(guān)的粘接和封裝至關(guān)重要,對(duì)其進(jìn)行等離子處理后,使得封裝和粘接更牢固,發(fā)出**音質(zhì)的同時(shí),提高了抗跌落性能。
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