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邁浦特機(jī)械（四川）有限公司
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企業(yè)信息
邁浦特機(jī)械（四川）有限公司
實(shí)名認(rèn)證企業(yè)認(rèn)證
成立年份：
2024年
經(jīng)營(yíng)模式：
制造商
企業(yè)類型：
企業(yè)單位
主營(yíng)產(chǎn)品：
高低溫一體機(jī),模溫機(jī),冷水機(jī)組,TCU溫控系統(tǒng),冷風(fēng)機(jī)
聯(lián)系地址：
天府大道北段1700號(hào)4棟1單元14層1417號(hào)
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半導(dǎo)體刻蝕高低溫一體機(jī)案例｜能耗降低90%的邁浦特技術(shù)

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產(chǎn)品
半導(dǎo)體刻蝕高低溫一體機(jī)案例｜能耗降低90%的邁浦特技術(shù)
控溫精度
±0.1℃
防爆等級(jí)
BT4/CT4
通訊協(xié)議
rs485/tcp
單價(jià)
66666.00元/臺(tái)
最小起訂
1臺(tái)
供貨總量
15臺(tái)
發(fā)貨期限
自買家付款之日45天內(nèi)發(fā)貨
有效期至
長(zhǎng)期有效
最后更新
2025-06-09 11:28
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產(chǎn)品介紹
加工定制：根據(jù)客戶要求定制
類型：風(fēng)冷式冷凍機(jī)
型號(hào)：MPTD
提供加工定制：壓縮機(jī)、制冷量、換熱器、等等
額定制冷量：5.5~95kw
輸入功率：根據(jù)客戶要求定制
外形尺寸：根據(jù)客戶要求定制
重量：170~2051kg
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體、電池、汽車零配件等新能源行業(yè)。維持刻蝕腔室內(nèi)晶圓表面溫度梯度≤0.1℃，提升芯片良率
冷凍方式：風(fēng)冷式
規(guī)格：MPTD

邁浦特機(jī)械高低溫一體機(jī)針對(duì)7nm芯片刻蝕工藝，采用LAUDA Semistat恒溫器搭載微區(qū)脈沖冷卻技術(shù)?：256個(gè)壓電噴嘴按晶圓圖案分布，液氮在微腔體內(nèi)汽化吸熱（潛熱199kJ/kg）。?顛覆性在于熱電控制原理?：半導(dǎo)體熱電堆(TEC)通過(guò)電流方向切換實(shí)現(xiàn)快速制冷/加熱，較傳統(tǒng)壓縮機(jī)能耗降低90%。紅外反饋系統(tǒng)實(shí)時(shí)修正熱場(chǎng)均勻性，晶圓表面溫差控制在±0.1℃。

實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)表明，設(shè)備在刻蝕工藝中升溫速率達(dá)40℃/s，將SiO?刻蝕速率波動(dòng)從±15%壓縮至±3%。配合R23制冷劑，熱響應(yīng)時(shí)間＜0.1秒，使晶圓邊緣與中心溫度差從常規(guī)設(shè)備的5℃降至0.5℃。全氟聚醚介質(zhì)（介電常數(shù)<1.5）避免電磁干擾，保障刻蝕精度。該方案已應(yīng)用于3D NAND閃存生產(chǎn)線，良率提升12%

 

  • 控溫精度：±0.1℃
  • 響應(yīng)時(shí)間：＜0.1秒
  • 熱傳導(dǎo)系數(shù)：8500W/(m²·K)

 

詢價(jià)單 
 
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法定代表人
胡明云
經(jīng)營(yíng)狀態(tài)
存續(xù)（在營(yíng)、開業(yè)、在冊(cè)）
注冊(cè)資本
200 萬(wàn)人民幣
實(shí)繳資本
統(tǒng)一社會(huì)信用代碼
91510100MAE84Q0J8L
組織機(jī)構(gòu)代碼
MAE84Q0J8
企業(yè)注冊(cè)號(hào)
510109003848662
企業(yè)類型
有限責(zé)任公司（自然人投資或控股）
登記機(jī)關(guān)
成都高新區(qū)市場(chǎng)監(jiān)督管理局
成立日期
2024年12月20日
營(yíng)業(yè)期限
2024年12月20日---
核準(zhǔn)日期
2024年12日20日
注冊(cè)地址
中國(guó)（四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都高新區(qū)天府大道北段1700號(hào)4棟1單元14層1417號(hào)
經(jīng)營(yíng)范圍
一般項(xiàng)目：機(jī)械設(shè)備銷售；特種設(shè)備銷售；風(fēng)機(jī)、風(fēng)扇銷售；泵及真空設(shè)備銷售；制冷、空調(diào)設(shè)備銷售；貨物進(jìn)出口；儀器儀表銷售；計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備零售；氣體、液體分離及純凈設(shè)備銷售；機(jī)械設(shè)備研發(fā)；軟件開發(fā)。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）