熱絲CVD金剛石設(shè)備

研發(fā)設(shè)計制造了熱絲CVD金剛石設(shè)備，分為實(shí)驗(yàn)型設(shè)備和生產(chǎn)型設(shè)備兩類。

熱絲CVD金剛石設(shè)備設(shè)備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導(dǎo)電金剛石薄膜、硬質(zhì)合金ji*jin剛石涂層刀具、陶瓷軸承內(nèi)孔鍍金剛石薄膜等。

可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉。可用于生產(chǎn)制造防腐耐磨硬質(zhì)涂層；環(huán)保域污水處理用的耐腐蝕金剛石導(dǎo)電電等。

可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質(zhì)涂層制備。

平面工作尺寸

圓形平面工作的尺寸：φ650mm。

矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定（如：工件長度1200mm）。

配置冷水樣品臺。

熱絲電源功率

可達(dá)300KW，1KW ～300KW可調(diào)（可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍）

設(shè)備安全性

-電力系統(tǒng)的檢測與保護(hù)

-設(shè)置真空檢測與報警保護(hù)功能

-冷卻循環(huán)水系統(tǒng)壓力檢測和流量檢測與報警保護(hù)

-設(shè)置水壓檢測與報警保護(hù)裝置

-設(shè)置水流檢測報警裝置

設(shè)備構(gòu)成

真空室構(gòu)成

雙層水冷結(jié)構(gòu)，立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,后開門，真空尺寸,根據(jù)工件尺寸和數(shù)量確定。

熱絲

熱絲材料：鉭絲、或鎢絲

熱絲溫度：1800℃～ 2500℃ 可調(diào)

樣品臺

可水冷、可加偏壓、可旋轉(zhuǎn)、可升降 ，由調(diào)速電機(jī)控制，可實(shí)現(xiàn)自動升降，（熱絲與襯底間距在5 ～ 100mm范圍內(nèi)可調(diào)），要求升降平穩(wěn),上下波動不大于0.1mm。

工作氣路（CVD）

工作氣路根據(jù)用戶工藝要求配置：

下面氣體配置是某一用戶的配置案例。

H2(5000sccm，濃度****)

CH4(200sccm，濃度****)

B2H6（50sccm，H2濃度99%）

Ar(1000sccm，濃度****)

真空獲得及測量系統(tǒng)

控制系統(tǒng)及軟件

實(shí)驗(yàn)型 熱絲CVD金剛石設(shè)備

單面熱絲CVD金剛石設(shè)備

雙面熱絲CVD金剛石設(shè)備

生產(chǎn)型熱絲CVD金剛石設(shè)備

可制備金剛石面積-寬650*1200mm

可制備金剛石φ 650mm