深圳市英能電氣有限公司創(chuàng)立于2015年,是一家公司集真空鍍膜電源的研發(fā),生產(chǎn)與銷售為一體的高新企業(yè)。我公司已獲得GJ高新企業(yè)認定,通過***:2015認證,擁有軟件著作權(quán)及實用新型共13份。公司產(chǎn)品已獲得CE認證,并通過ROHS測試。
我公司電源以自主研發(fā)和制造為主,專業(yè)為客戶提供真空鍍膜電源及工業(yè)控制領域的解決方案。公司產(chǎn)品可滿足真空鍍膜行業(yè)的各種需求,主要有直流磁控濺射電源,單極性磁控濺射電源,脈沖偏壓電源,中頻磁控濺射電源,離子源電源/高壓離子源,HVMS 高壓脈沖電源,弧電源等。公司本著“ 以質(zhì)量求生存,顧客至上” 的原則,以創(chuàng)新,精細的專業(yè)知識致力于為客戶提供專業(yè),**的服務。
采用高頻逆變方式及**的IGBT功率模塊,有效改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù);膜層致密、光潔度較好;具有效率高、運行穩(wěn)定等優(yōu)點 。
可按客戶具體要求定制!
一、應用領域
1、單極性磁控濺射靶材
2、金屬膜、碳膜和部分氧化物
3、氮化物及碳化物膜
二、 主要特點
1、具備過壓、過載和過熱等保護
2、多功能觸摸屏、操作簡單
3、電弧反應靈敏
4、有效改善靶面電荷積累現(xiàn)象,減少濺射靶表面的打火次數(shù)
5、默認恒流模式,可選恒流、恒壓、恒功率模式
6、外部接口:RJ45、RS485
7、通訊模式:RJ45、RS485、WIFI
8、工作效率:≥90%
9、控制精度:≤1%
10、絕緣等級:B級
11、防護等級:IP20
12、外殼電阻:≥200MΩ
13、使用環(huán)境溫度:-20~+45℃
14、環(huán)境濕度:≤85%
三、主要技術(shù)參數(shù)
項目 Item | 型號 Model | ||
PM-10 | PM-20 | PM-30 | |
輸入電壓 Input | 三相交流380V +5%,50~60 Hz Three-phase AC 380V +5%, 50~60 Hz | ||
輸出頻率 Frequency | 40~80kHz | ||
占空比 Duty | 10%-80% | ||
輸出電壓 Voltage | 10~1000V | ||
輸出電流 Peak Current | 10A | 20A | 30A |
輸出功率 Peak power | 10KW | 20KW | 30KW |
通訊方式 Interface | RJ45、RS485、WIFI、光纖等通訊端口,MODBUS通訊協(xié)議 RJ45、RS485、WIFI、Optical fiber and other communication ports、MODBUS communication protocol | ||
冷卻方式 Cooling | 水冷+風冷 Water + Air | ||
尺寸 Size | 706mm(D)×480mm(W)×225mm(H) | ||
重量 Weight | 約60kg |
聯(lián)系方式:吳生 13717007958 0755-23248674 QQ:2963884600 郵箱:eps@eps-power.cn