岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

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Profilm3D光學(xué)輪廓儀-臺(tái)階高度測(cè)量、表面粗糙度測(cè)量

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一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介：?

? ?Filmetrics 讓光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格更實(shí)惠，性價(jià)比更高. Profilm3D 使用了進(jìn)的垂直掃描干涉 (VSI) 結(jié)合高精確度相移干涉 (PSI) 測(cè)量.以前所未見的價(jià)格使得表面形貌研究進(jìn)入次納米等級(jí)。通過光學(xué)掃描儀掃描表面輪廓可進(jìn)行臺(tái)階高度測(cè)量，表面粗糙度測(cè)量二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

（1）100毫米自動(dòng)XY樣品平臺(tái)，?我們每臺(tái)Profilm3D 都已將自動(dòng)XY樣品平臺(tái)以及tip/tilt 功能列為標(biāo)準(zhǔn)配備

（2）The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要. 可進(jìn)一步減少總體成本. 本司也提供手動(dòng)或自動(dòng)物鏡切換炮塔等配置可彈性運(yùn)用于需使用多物鏡應(yīng)用之樣片。

（3）測(cè)量速度快，精度高，操作便捷，軟件使用可視化

三、產(chǎn)品參數(shù)：

（1）技術(shù)參數(shù)

厚度范圍, VSI? ? ? ? ? ? ? ? ? 50 nm - 10 mm厚度范圍, PSI? ? ? ? ? ? ? ? ??0 - 3 μmRMS 重復(fù)性,VSI? ? ? ? ? ? ?1.0 nmRMS 重復(fù)性,?PSI? ? ? ? ? ? ?0.1 nm臺(tái)階高度 準(zhǔn)確性 1? ? ? ? ? 0.7%臺(tái)階高度 重復(fù)性 2? ? ? ? ? 0.1%樣品反射率範(fàn)圍? ? ? ? ? ? ? 0.05% - ****ISO 25178 兼容? ? ? ? ? ? ?是（2）機(jī)械部件規(guī)格

Z 范圍? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 100 mmPiezo (壓電)范圍? ? ? ? ? 500 μm垂直掃描速度? ? ? ? ? ? ? ?12? ?μm/secXY 平臺(tái)類型? ? ? ? ? ? ? ? ?自動(dòng)XY 平臺(tái)范圍? ? ? ? ? ? ? ? ?100 mm x 100 mmTip/Tilt 平臺(tái)? ? ? ? ? ? ? ? +/- 5°, 手動(dòng)相機(jī)? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?2592 x 1944 (5 百萬像素)相機(jī)變焦 3? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1X, 2X, 4X系統(tǒng)尺寸，寬x深x高? ? ?300 mm x 300 mm x 550 mm系統(tǒng)重量 15 公（3）物鏡選項(xiàng)

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（4）選配

– 手動(dòng) 4-物鏡筒及位置感應(yīng)器– 自動(dòng) 4-物鏡筒及位置感應(yīng)器

四、應(yīng)用實(shí)例

（1）臺(tái)階高度測(cè)量

Profilm3D光學(xué)輪廓儀測(cè)量臺(tái)階高度時(shí)，用戶可選取或截取任意掃描區(qū)域，并經(jīng)行任意角度轉(zhuǎn)換。通過鼠標(biāo)拖拽即可在3D視窗中完成任意角度的翻轉(zhuǎn)

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（2）表面粗糙度測(cè)量

Profilm3D光學(xué)輪廓儀測(cè)量臺(tái)階表面粗糙度時(shí)，用戶可選取或截取任意掃描區(qū)域，并經(jīng)行任意角度轉(zhuǎn)換。通過鼠標(biāo)拖拽即可在3D視窗中完成任意角度的翻轉(zhuǎn)?？蓽y(cè)量?jī)A斜面、非傾斜面的的粗糙度

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