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愛(ài)德華EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180使用了獨(dú)特的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7×10-5Torr的極限壓力。

模塊化EPX180基于備受贊譽(yù)、大獲成功的IPX系列，可提供的性能，與IPX相比，包裝重量輕了20%、體積小了30%且功率降低了40%。

EPX系列主要特性和優(yōu)勢(shì)

1、EPX可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

? ? ?占地面積小且重量輕一作為可用的小工具上泵之一，EPX顯著節(jié)省了占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了? ? ? ?安裝選項(xiàng)。

2、EPX泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源,超清潔機(jī)構(gòu)-傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，? ? ? ? 這可能成為制程工具中污染源。

3、受保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu)-EPX可以從大氣壓抽空到UHV級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

4、非?？煽?EPX具有大約13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年維修一次，大程度地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。

? ? ? EPX系列支持清潔和輕型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn)站應(yīng)用。

? ? ? EPX系列以極輕、極小的封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX泵采用已獲的獨(dú)特單軸再? ? ? ?生Holweck?分級(jí)機(jī)構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于7×10-7Torr的極限壓力。

5、EPX泵能夠以模塊化組件提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，又可以遠(yuǎn)程安裝。此外，通過(guò)集成MicroTIM? 電子模塊還可以與制程工具輕松建立通信連接。

?公司主要經(jīng)營(yíng)進(jìn)口真空泵、進(jìn)口真空泵配件、真空泵維修保養(yǎng)，二手真空泵，真空泵機(jī)組及真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)安裝；主營(yíng)品牌：德國(guó)BUSCH普旭，德國(guó)Pfeiffer普發(fā)，Rietschle里其樂(lè)/偉力，Leybold萊寶，Becker貝克，英國(guó)BOC E**ards愛(ài)德華，日本ULVAC愛(ài)發(fā)科，Orion好利旺，TAIKO大晃，荏原Eabra，法國(guó)ALCATEL阿爾卡特，韓國(guó)KODIVAC大亞，DOVAC斗一，臺(tái)灣漢鐘HANBELL，沈陽(yáng)科儀SKY等國(guó)際知名品牌，服務(wù)熱線13509820116。

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