INFICON Augent™光學(xué)等離子體計OPG550是真空監(jiān)測的智能解決方案。
Augent™OPG550將兩種傳感器技術(shù)結(jié)合到一個緊湊的設(shè)備中，用于氣體類型監(jiān)測
1 × 10-7至5毫巴，同時測量從大氣到1 × 10-7毫巴的總壓力。Augent™
OPG550由集成的Pirani傳感器保護(hù)，可關(guān)閉20毫巴以上的等離子體。
在1 × 10-7和5毫巴之間的測量范圍內(nèi)，壓力表允許檢測氣體成分。