通過分析并比較各種處理有機廢氣的技術與工藝，人們提出了結合的處理工藝技術。采用活性炭纖維吸附濃縮、熱空氣脫附和催化燃燒三種組合工藝凈化有機廢氣。工藝流程圖如圖1所示。

有機廢氣經預處理除去粉塵或兼除其它催化劑毒物，而后由風機送入預熱器預熱至起燃溫度以上再進入催化床反應。工藝中采用遠紅外輻射直接加熱催化床，可以明顯減少啟動時間和啟動功率,降低預熱溫度。借助于換熱器，可以明顯減少加熱功率在啟動階段,換熱器使反應床和進入反應床的空氣不斷升溫，直至預熱器所供給的熱量全部被設備和換熱器的出口氣流帶走。換熱器的另一個作用是回收反應熱，視有機組分濃度的高低，頂替部分或全部的電加熱。如濃度大1000μL/L,運行中所需的預熱功率就可以很低。此工藝中吸附床選用目前國內外公認的**的活性炭纖維作吸附材料，其材料具有吸附效率高，吸脫附時間快，使用壽命長的特點,凈化效率達90%以上；催化床選用蜂窩陶瓷貴金屬催化劑，凈化效率達95%以上;實現(xiàn)了凈化系統(tǒng)內的吸附、脫附、熱平衡、催化反應連續(xù)不停運行。凈化系統(tǒng)設計合理、結構緊湊、**。與同類處理大風量、低濃度有機廢氣凈化系統(tǒng)相比，設備投資和運行能耗明顯降低。