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大平臺工業(yè)顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的,作為**工業(yè)顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
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觀察頭
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? 30°鉸鏈式三目(50mm-75mm)
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目鏡
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? WF10×/25mm
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? WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
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轉(zhuǎn)換器
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? 帶DIC插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器
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物鏡
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平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm?
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10×/0.25B.D/W.D.16mm
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? 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
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? 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
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平臺
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? 雙層移動平臺
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? 平臺尺寸: 350mm×310mm
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? 移動范圍:250mm×250mm
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濾色片
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? 插板式濾色片(綠、藍、中性)
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調(diào)焦
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? 粗、微動同軸調(diào)焦,采用齒輪齒條傳動機構(gòu) 微動格值0.002mm
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光源
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?落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/100W,AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
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偏光裝置
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? 檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
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檢測工具
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? 0.01mm測微尺
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可供附件
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? 目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
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? 300萬、500萬、900萬、1400萬像素CMOS芯片數(shù)字攝像頭
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? 平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
?80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
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?? 二維測量軟件
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? 專業(yè)金相圖像分析軟件
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? DIC(10×、20×、40×、100×)
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? 攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
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? 壓平機
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? 彩色CCD 芯片 300萬,500萬,800萬像素攝像頭
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UB5000?特點說明
1.? 采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
2.? 拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù),無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一?
?????? 觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
3.? 采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4.? WF10X(Φ25)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。
5.? 可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。