? ? ? ?隨著真空技術(shù)的發(fā)展,許多人認(rèn)為將真空區(qū)域劃分為五個區(qū)域更加合理 適用。這五個區(qū)域是:
? ? ? 低真空區(qū)域: ? ? ?? ? ??105—102Pa(其中105—103Pa稱粗真空)
? ? ? 中真空區(qū)域: ? ? ? ????102—10-1Pa?
? ? ? 高真空區(qū)域: ? ? ? ? ??10-1—10-5Pa?
? ? ??超高真空區(qū)域: ? ? ??10-5—10-9Pa?
? ? ?極高真空區(qū)域: ? ? ?? <10-9Pa?
? ? ?氦檢漏: ? ? ? ? ? ? ? 江蘇儀征化纖氦檢漏服務(wù)中心?
? ? ?號碼: ? ? ? ? ? ?