該設(shè)備主要用于電子元器件的烘烤、干燥、脫脂、硬化、退火、除濕、除氣、除氫；晶片的干燥和烘烤。

設(shè)備型號：VBK300-5040/4

額度溫度：300℃

工作溫度：RT-250℃

溫控精度：±1℃

加熱元件：鋁加熱板（內(nèi)置不銹鋼加熱管），4層

熱板尺寸：550mm*430mm*20mm（W*D*H）

測溫元件：K型，共8只，4控溫，4監(jiān)測

升溫速率：≤10℃/Min

加熱功率：15Kw

真空配置：分子泵+無油干泵（潔凈度高）

極限真空：8.0*10-4Pa（空爐、經(jīng)凈化、室溫、充分脫氣）

工作真空：6.67*10-2Pa至6.67*10-3Pa

控制顯示：10英寸液晶觸摸屏