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徠卡Leica DM3 XL     

微電子和半導(dǎo)體行業(yè)快速檢驗(yàn)系統(tǒng)

檢驗(yàn)、過程控制或缺陷和故障分析全部與速度相關(guān)：任何缺陷都有可能使生產(chǎn)陷入癱瘓；您需要一臺顯微鏡來幫助團(tuán)隊(duì)盡快且盡可能準(zhǔn)確地檢測缺陷。DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)助您節(jié)省檢驗(yàn)時間。充分利用獨(dú)特的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。DM3 XL 為中等預(yù)算用戶提供高端品質(zhì)，因?yàn)槟?沒有時間去妥協(xié)。

更多細(xì)節(jié)盡收眼底， 工作更高效
看到更多細(xì)節(jié)意味著工作更高效。DM3 XL 檢驗(yàn)系統(tǒng)提供獨(dú)特的物鏡，可快速掃描** 6" 的組件。放大倍率為 0.7x 的宏觀物鏡能夠即刻*** 35.7 mm 的視場 — 比可用的掃描物鏡寬敞 30%。
通過常規(guī)掃描物鏡看不見的區(qū)域在宏觀概覽下無所遁形：晶片邊緣或中心顯影不足的區(qū)域以及不均勻的徑向膜厚度全部清晰可見，增強(qiáng)您的收益率

適用于所有相襯觀察方法的 LEDDM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明：明場、暗場、微分干涉相襯 (DIC)、偏光和斜射照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級下提供真彩色成像。因此，您始終可以看到相同顏色的樣品，獲得可復(fù)制的結(jié)果。憑借長達(dá) 35,000 小時的使用壽命和低能耗，LED 還具有巨大的成本節(jié)省潛能，并優(yōu)化公司的碳排放。> 在所有亮度等級下實(shí)現(xiàn)真彩色成像> 自由調(diào)節(jié)> 沒有更換燈泡導(dǎo)致的停機(jī)時間

徠卡高性能物鏡DM3 XL 讓您以實(shí)惠的價格享受到專業(yè)的光學(xué)特性，例如斜射照明或深暗場對比。>  通過斜射照明檢查側(cè)面、 邊緣或碎屑>  使用深暗場物鏡查看最小的顆粒> 符合國際標(biāo)準(zhǔn)斜射照明非常理想地適用于側(cè)面、邊緣或碎屑檢查。它可以幫助您從不同的角度照亮樣品，是簡單有效的形貌可視化方法 — 即使是由于抗蝕劑殘留物導(dǎo)致的透明形貌也能得到理想的照明。深暗場對比的靈敏度大幅提升 — 尤其適用于檢測樣品

較低層中的微小劃痕或小顆粒。此外，暗場物鏡的大工作距離還可以保護(hù)珍貴樣品，避免其在檢驗(yàn)中意外受損。

當(dāng)然，DM3 XL 也符合 SEMI S2/S8 或 CE 等國際規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。

操作員控制更簡單采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)的顯微鏡改進(jìn)的不只是舒適度 — 它們在減輕肌肉勞損的同時， 還有助于提高生產(chǎn)率。 即使經(jīng)過較長的工作時間DM3 XL 依然支持您的團(tuán)隊(duì)交付**結(jié)果。

 

憑借易于操作的控件，用戶可在切換對比技術(shù)或照明時，將雙眼專注于樣品之上，雙手操作顯微鏡。右手可以舒適地控制位于右側(cè)的光強(qiáng)控制器?？筛鶕?jù)不同身高對可變?nèi)梭w工學(xué)鏡筒和調(diào)焦旋鈕進(jìn)行調(diào)整，采用輕松無壓力的工作位置。

**調(diào)焦驅(qū)動器通過三檔系統(tǒng)、樣品保護(hù)擋板和扭矩調(diào)節(jié)裝置確保操作 高度**。調(diào)焦限位裝置可保護(hù)您 避免意外受傷。您可在粗調(diào)、微調(diào)或超微調(diào)模式下進(jìn)行調(diào)節(jié)，總移動范圍 30 mm。

您的團(tuán)隊(duì)有顯微鏡專家，也有毫無顯微鏡經(jīng)驗(yàn)的操作新手。憑借簡單直觀的功能，DM3 XL 能幫助團(tuán)隊(duì)中的任何人 快速找到缺陷并采取相應(yīng)的操作。彩色編碼光圈輔助 (CCDA) 基本操作簡單直觀，對比、景深清晰，有助于提升您的工作速度，并****減少操作失誤。