MOCVD內(nèi)圈加熱絲通常使用難熔金屬制品，如鎢或鉬等金屬材料。

這些金屬材料具有高熔點(diǎn)、高沸點(diǎn)、高熱導(dǎo)率等特性，適合作為加熱元件的材料。

鎢是一種常用的難熔金屬，具有高熔點(diǎn)（約3400℃）、高沸點(diǎn)（約5900℃）、高強(qiáng)度和良好的導(dǎo)熱性能。

在MOCVD中，鎢加熱絲被廣泛用于MOCVD反應(yīng)器的內(nèi)圈，為MOCVD反應(yīng)提供所需的熱量。

此外，鉬也是一種常用的難熔金屬，具有與鎢相似的物理化學(xué)性質(zhì)，也被用于MOCVD內(nèi)圈加熱絲的制作。

這些難熔金屬制品通常需要經(jīng)過特殊加工處理，如拉絲、擠絲、焊接等工藝，以制備成所需的加熱絲形狀和尺寸。

同時，為了確保加熱絲的穩(wěn)定性和可靠性，還需要進(jìn)行嚴(yán)格的材料和工藝質(zhì)量控制。