MPCVD用鉬基片臺(tái)是分子束外延(MBE)設(shè)備中的核心部件。它是一種高度精密的儀器,用于在超高真空條件下,控制和合成超微粒子的材料。在 MPCVD 中,熱解反應(yīng)室中的氣體分子與源物質(zhì)分子相互作用,生成目標(biāo)材料原子或分子。這些原子或分子隨后被沉積在襯底上,形成薄膜。
鉬基片臺(tái)是 MPCVD 設(shè)備中的一個(gè)重要部分,它提供了一個(gè)穩(wěn)定的平臺(tái),用于放置和操作襯底。這個(gè)平臺(tái)需要具備高度的耐熱性和耐腐蝕性,以確保在高溫和反應(yīng)氣體存在下不會(huì)發(fā)生變形或腐蝕。此外,它還需要具備的平整度和穩(wěn)定性,以確保薄膜生長的一致性和質(zhì)量。
總的來說,MPCVD用鉬基片臺(tái)是分子束外延設(shè)備中的關(guān)鍵組成部分,對(duì)于制備高質(zhì)量、超薄薄膜具有至關(guān)重要的作用。
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