標(biāo)準(zhǔn)型探針臺(tái)
可兼容DC測(cè)試、射頻、高頻、微波測(cè)試
直流到高頻
產(chǎn)品特點(diǎn):
XY高精度大行程平臺(tái)調(diào)節(jié),Z軸快速升降,U型面板設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定
可搭配體式顯微鏡/高倍率長(zhǎng)工作距離視頻顯微鏡/高分辨率金相顯微鏡、熒光顯微鏡等…
本圖中搭配變焦比12X的單筒視頻顯微鏡、BT-100型探針座,用于安裝高頻探針及線纜使用
探針座可根據(jù)移動(dòng)精度選擇,吸附方式可選磁吸附或真空吸附
顯微鏡組件帶有XYZ三方向調(diào)節(jié)裝置,配置連接組件,可安裝各類(lèi)顯微鏡主體
可升級(jí)半自動(dòng)系統(tǒng)
產(chǎn)品規(guī)格:
組件/型號(hào) | APS150 |
顯微鏡配置 | 單筒視頻顯微鏡 |
真空吸附卡盤(pán) | 6寸不銹鋼150mm |
主體平臺(tái)XY移動(dòng)行程 | 150mm*150mm |
顯微鏡位移臺(tái)行程 | 25mm*25mm |
旋轉(zhuǎn)角度 | 0-30O |
Z軸行程 | 5mm |
探針臺(tái)本體 | 固定式 |
可放置樣品尺寸 | 5mm*5mm至150mm(6寸) |
真空卡盤(pán)平坦度 | 10um |
尺寸 | 580mm*460mm*700mm |
重量 | 60kgw |
配置可選項(xiàng):
*?體式顯微鏡/高倍率超長(zhǎng)工作距離視頻顯微鏡/高分辨金相顯微鏡
*?真空吸附加熱卡盤(pán)(溫度:200℃/300℃或其它)
*?可選低溫制冷卡盤(pán)
*?低溫罩箱(用于充入氮?dú)獾蜏刂评洌?span style="padding:0px;list-style-type:none;">
*?客戶(hù)定制化移動(dòng)平臺(tái)
*?氣壓式顯微鏡升降調(diào)節(jié)
*?各類(lèi)DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…
*?低電容、電流探測(cè)裝置
*?高電壓探測(cè)裝置
*?雷射切割裝置
* CCD或C-MOS視頻成像裝置
?
探針夾具
*?靜音真空泵?
*?屏蔽箱
*?防振桌
*?適配器
*?轉(zhuǎn)接頭
*?電學(xué)測(cè)試設(shè)備
*?其它外圍組件
如需更多詳細(xì)技術(shù)參數(shù)請(qǐng)致電或聯(lián)系我們?