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同軸驅(qū)動(dòng)CHUCK | ||
可以升級(jí)做射頻測(cè)試 | ||
20X~4000X?光學(xué)顯微放大 | ||
無后座力移動(dòng) | ||
可以選擇顯微鏡傾仰裝置或者氣動(dòng)升降裝置 | ||
? | ||
規(guī)格 | ||
真空吸附型Chuck | 6"?不銹鋼 | |
Chuck?X-Y軸行程 | 6" x6" | |
Chuck?旋轉(zhuǎn)角度 | 0~360?度 | |
Chuck升降 | 4mm | |
針座平臺(tái) | 可以放置8個(gè)針座 | |
顯微鏡X-Y軸行程 | 2" x2" | |
? | ||
需求 | ||
電力 | 220 VAC, 60Hz | |
? | ||
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
? | ||
尺寸 | ||
920mm長?x?660mm寬?x?700mm高?(帶顯微鏡) | ||
重?100 Kg(帶顯微鏡) | ||
? | ||
可選附件 | ||
激光切割 | ||
探針卡夾具 | ||
加熱臺(tái) | ||
高低溫樣品臺(tái) 防震桌 | ||
顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 | ||
顯微鏡暗場(chǎng)?/ DIC/Normarski?檢測(cè) | ||
光強(qiáng)/波長測(cè)試接口部件 | ||
射頻測(cè)試探頭和線纜 | ||
有源探頭 | ||
低電流/電容測(cè)試 | ||
高壓測(cè)試 | ||
CCD視頻系統(tǒng) | ||
液晶漏電分析套裝 | ||
黑箱 | ||
大電流測(cè)試套件 鍍金Chuck |
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