隨著航空航天、國(guó)防工業(yè)、微電子工業(yè)、現(xiàn)代醫(yī)學(xué)以及生物工程技術(shù)的發(fā)展，對(duì)精密超精密機(jī)械零件(特征尺寸在微米級(jí)到毫米級(jí))的需求日益迫切。其結(jié)構(gòu)形狀的特異化、零件材料的多樣化、尺寸與表面質(zhì)量的高精度化成為高精密機(jī)械零件及其微型裝置及設(shè)備的顯著特征在使用功能、材料特性、結(jié)構(gòu)形狀、可靠性等方面的要求也越來越高。 高精密零部件制造是以高精密零件為加工對(duì)象。在加工過程中，存在著一個(gè)清洗問題，普通清洗減低了對(duì)高精密零件的生產(chǎn)效率以及精密度，而且精密零件具有表面復(fù)雜，容易隱藏污垢，且清洗要求高的特點(diǎn)。根據(jù)加工工件的結(jié)構(gòu)，利用干冰清洗技術(shù)能夠從根本上解決高精密零件的清洗問題。提高了清洗效果，對(duì)加工工件表面無損傷，節(jié)省了工作場(chǎng)地和人工。

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